




特種氣體的介紹
特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對(duì)純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體,隨著國(guó)1防工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè)(特別是微電子技術(shù))的發(fā)展,工業(yè)特種氣體,特種氣體成為工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)新動(dòng)力,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光纖光纜、醫(yī)1藥等新興行業(yè)。特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)1療氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,合肥特種氣體,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程。

特種氣體系統(tǒng):
氣體房的選擇和設(shè)計(jì)
除了簡(jiǎn)單的供氣系統(tǒng)以外,特種氣體廠商,特氣房一般都獨(dú)立于主場(chǎng)房而單獨(dú)建設(shè),電子特種氣體,其規(guī)劃時(shí)需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險(xiǎn)物的總量控制等。常規(guī)供氣系統(tǒng)一般也采用多種氣瓶柜共設(shè)在一個(gè)氣體室;而對(duì)于大宗特氣,會(huì)根據(jù)氣體特性和相容性將氣體房分成可燃?xì)怏w房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅1烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通風(fēng),氣體房的選擇和設(shè)計(jì)一般由設(shè)計(jì)院完成。


特種氣體的介紹
特種氣體用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。
特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。

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